Enhanced stereo SEM measurement of sub-micrometer structures

verfasst von: T. Schultheis, T. Vynnyk, T. Fahlbusch, E. Reithmeier
Organisationseinheit(en): Institut für Mess- und Regelungstechnik
Typ: Aufsatz in Konferenzband
Anzahl der Seiten: 3
Publikationsdatum: 2009
Publikationsstatus: Veröffentlicht
Elektronische Version(en): https://www.imr.uni-hannover.de/index.php?eID=tx_securedownloads&p=89&u=0&g=0&t=1604993213&hash=f1ff17fb479c5b085e1b96c42f14e0e56012ac46&file=/uploads/tx_tkpublikationen/EOScapri2009_-_Schultheis_Thanin_-_2374.pdf (Zugang: Offen)