Einfluss von Kohlenstoff-Deltaschichten auf die Defektausbreitung in der Germaniumepitaxie

verfasst von: Yvo Barnscheidt
betreut von: Hans-Jörg Osten
Organisationseinheit(en): Institut für Materialien und Bauelemente der Elektronik
Typ: Dissertation
Anzahl der Seiten: 169
Publikationsdatum: 2021
Publikationsstatus: Veröffentlicht
Elektronische Version(en): https://doi.org/10.15488/11162 (Zugang: Offen)