3D-Oberflächenvermessung mit einem Stereo-Rasterelektronenmikroskop

verfasst von

Taras Vynnyk, Thomas Fahlbusch, Eduard Reithmeier

Abstract

The measurement of technical surfaces with microstructures is a central question of metrology. In this paper the 3D reconstruction method of scanning electron microscope (SEM) images is introduced. For the verification of the method the SEM was provided with two detectors.

Organisationseinheit(en)

Institut für Mess- und Regelungstechnik

Typ

Artikel

Journal

Technisches Messen

Band

76

Seiten

496-502

Anzahl der Seiten

7

ISSN

0171-8096

Publikationsdatum

04.12.2009

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Instrumentierung, Elektrotechnik und Elektronik

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.1524/teme.2009.0898 (Zugang: Geschlossen)