Performance Efficiency Measuring and Prediction of Wafer Fabrication Operation with a Combined Clustering and Neural Network Approach

verfasst von
Matthias Becker
Organisationseinheit(en)
Fachgebiet Mensch-Computer-Interaktion
Typ
Paper
Seiten
1817-1823
Publikationsdatum
2009
Publikationsstatus
Veröffentlicht