Online detection of ozone in ion beam sputtering
- verfasst von
- Carsten Schmitz, Henrik Ehlers, Detlev Ristau
- Abstract
The contents of oxygen species are measured in the reactive atmosphere of an ion beam sputtering process. Based on oxygen sensor concepts, a reliable early detection for absorption in TiO2 layers is studied.
- Externe Organisation(en)
-
Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)
- Typ
- Aufsatz in Konferenzband
- Publikationsdatum
- 2010
- Publikationsstatus
- Veröffentlicht
- Peer-reviewed
- Ja
- ASJC Scopus Sachgebiete
- Instrumentierung, Atom- und Molekularphysik sowie Optik
- Elektronische Version(en)
-
https://doi.org/10.1364/oic.2010.tud4 (Zugang:
Unbekannt)
